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UHV-24P 离子规可实现宽量程测量
(5x10 -12 Torr ----1x10 -3 Torr) 。其小型化设计,方便客户安装调试。并可实现极高真空的测量。
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复合真空计
●模块化控制
●可连接 BA 规,热偶规及各种超高真空规管。
● 8 位设定点输出。
● RS232 , 485 通信接口输出。
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一体化真空计
●测量范围: 2x10 -9 Torr ----5x10 -2 Torr
●集成一体化真空计。
● LED 显示。
● 2 位设定点输出。
●可模拟数据输出。
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