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首页>>合作伙伴>>美国瓦里安>>检漏仪

检漏仪

历史功绩

1972 年由瓦里安公司首先在检漏仪的设计中提出了逆流式的概念,使得目前全球的检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。

 

 

 

979 型全自动触摸屏式检漏仪

 

单个前级泵

双前级泵

测量范围 atm.cc/sec

标准灵敏度

10 -4 到 10 -9

10 -1 到 10 -9

高灵敏度

10 -5 到 10 -10

10 -2 到 10 -10

最小可检漏率

标准灵敏度

5 × 10 -10

高灵敏度

5 × 10 -11

最大测试口压强 Torr

5

760

高真空泵

分子泵 V70D( 标准型号 ) 、分子泵 V70LP( 高灵敏度型号 )

前级泵

 

前级 / 粗抽

前级

粗抽

机械泵

DS-302

DS-302

SD-451

干泵

TriScroll-300

TriScroll-600

TriScroll-300

测试口

KF25

校准

自动校准

设定点

4 个设定点

清零

背景清零一次 2.5 个量级

漏率显示

Atm.cc/sec, mbar.L/sec, Torr.L/sec, Pa.m 3/sec

反应时间

< 0.5 秒

版权所有: 北京利方达真空技术有限责任公司 京ICP备05059423号