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检漏仪
历史功绩
1972 年由瓦里安公司首先在检漏仪的设计中提出了逆流式的概念,使得目前全球的检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。
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979 型全自动触摸屏式检漏仪
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单个前级泵
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双前级泵
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测量范围 atm.cc/sec
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标准灵敏度
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10 -4 到 10 -9
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10 -1 到 10 -9
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高灵敏度
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10 -5 到 10 -10
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10 -2 到 10 -10
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最小可检漏率
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标准灵敏度
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5 × 10 -10
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高灵敏度
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5 × 10 -11
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最大测试口压强 Torr
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5
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760
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高真空泵
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分子泵 V70D( 标准型号 ) 、分子泵 V70LP( 高灵敏度型号
)
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前级泵
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前级 / 粗抽
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前级
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粗抽
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机械泵
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DS-302
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DS-302
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SD-451
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干泵
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TriScroll-300
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TriScroll-600
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TriScroll-300
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测试口
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KF25
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校准
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自动校准
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设定点
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4 个设定点
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清零
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背景清零一次 2.5 个量级
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漏率显示
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Atm.cc/sec, mbar.L/sec, Torr.L/sec,
Pa.m 3/sec
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反应时间
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< 0.5 秒
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