涡旋式干泵
内置真空隔离阀
当真空系统故障或断电时,该阀可以将干泵与系统隔断开,防止真空系统被破坏和污染。
时间记录器
准确记录总运转时间,便于作维修参考。
独特的 TriScroll TM 设计
紧凑小巧,抽速高,极限压强好。
自动气镇阀
改善了对水蒸气及其他可凝性气体的抽气效果,使优越的性能自始至终保持一致。
干泵 |
型号 |
SH-100 |
TriScroll-300 |
TriScroll-600 |
抽速 L/s |
1.33 |
4.6 |
8.3 |
极限压强 Torr |
5× 10 -2 |
1.3× 10 -2 |
7× 10 -3 |
进气口法兰 |
25 |
25 |
40 |
出气口法兰 |
16 |
16 |
25 |
电极功率 kW |
0.37 |
0.56 |
0.76 |
电极热保护 |
U 型自保护 |
U 型自保护 |
U 型自保护 |
工作转速 rpm |
1425 |
1425 |
1425 |