Macro Torr 技术
目前世界上最有效的涡轮级设计技术。
瓦里安的发明之一，优点在于：
--- 极大的排气量
--- 前级耐压高达 18mbar
--- 压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量，对质量轻的气体更为显著。
一体化转子
瓦里安的专业切割工具以及 EDM 工艺，结和完善的 CAD/CAM 制造手段，可将一块高科技含量的铝合金原材料加工成为整体型转子。这项技术的成就，极大提高了泵的寿命。
--- 转子的质量更轻，用户可任意位置安装。
--- 转子的自重越轻，材料及轴承承受的应力就越小，泵的寿命自然会更长。
高抽速，高压缩比
低成本，体积小，高性能是我们的设计理念。我们对技术的运用，确保了在体积尽可能小，成本尽可能低，而可靠性很高的情况下仍能获得优异的性能指标。
前级耐压高
前级耐压高达 18mbar ！最大的优点是可以配更小的前级泵，如 V301 的分子泵只需配 5m 3/hr 的 SH-100 的干泵或 DS-102 机械泵作为前级泵既可满足要求。 Macro Torr 技术不仅降低了真空系统的成本，也使分子泵的性能更优秀。
分子泵 |
产品型号 |
V70 |
V70D |
V70LP |
V301 |
V551 |
V701 |
V1001 |
V2000HT |
V6000 |
转速 rpm |
75000 |
75000 |
75000 |
56000 |
42000 |
42000 |
38000 |
33000 |
14000 |
进气口法兰 |
40/63 |
40/63 |
40/63 |
100/160 |
100/160 |
200 |
160/200/250 |
250 |
500 |
出气口法兰 |
16 |
16 |
16 |
16 |
25 |
25 |
40 |
40 |
100 |
抽速 N 2 L/s |
46/68 |
40/60 |
46/68 |
250/280 |
350/550 |
690 |
790/950/1050 |
1950 |
6000 |
压缩比 N 2 |
5 × 10 7 |
5 × 10 7 |
5 × 10 8 |
7× 10 8 |
＞ 1× 10 9 |
1× 10 9 |
1× 10 9 |
＞ 1× 10 9 |
＞ 1× 10 10 |
极限压强 mbar |
1× 10 9 |
＜ 1× 10 9 |
＜ 2× 10 -10 |
＜ 5× 10 -10 |
＜ 1× 10 -10 |
＜ 1× 10 -10 |
＜ 1× 10 -10 |
1× 10 -10 |
＜ 1× 10 -10 |
启动时间 min |
＜ 1 |
＜ 1 |
＜ 1 |
2.5 |
＜ 5 |
＜ 5 |
＜ 4 |
10 |
30 |
电源 |
220V |
220V |
220V |
220V |
220V |
220V |
220V |
220V |
220V |
