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Model 880 Deposition
Controller晶控器
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880型晶控器是根据多微处理器原理设计而成,通过超高分辩率可快速测出最新参数和模结构，该晶控器上有四个输入/输出卡插槽，每个插槽上可安装一个输入卡（8个单独的光输入）或一个输出卡（8个C形SPDT继电器），探头/电子枪控制模块可提供两个信道，一个信道可供晶体频率测量使用，另一个信道是两个绝缘仿真0-10伏（正和负）输出，用来控制电子枪。该880型晶控器上共有4个这样的模块，可提供8个探头输入信道和8个仿真输出信道，同时，还有平均化处理功能和进行联合蒸镀功能
性能：
- 先进的测量技术可在100微秒的测量周期内实现高精度测量
- 万能的工艺排序功能和工艺连续控制功能
- 可很容易实现对输入/输出结构的编程处理（包括脉冲信号，计数器和定时器）来完成通用系统的控制
- 其多程序与多任务艺存储功能可用来存储99种膜料数据
- 单元式显示器（选用）可同时显示三种膜料的蒸镀
- 多处理器设计在维持所有配置的高性能时也允许对模块进行扩展
- 两个标准的探头输入（6个附加的探头输入选用），两个电子枪（仿真）输出（6个附加配置的模拟输出选用）
- 标准RS232/485接口，工业领域母线（选用）
- 精密大面积蒸镀用的8探头权数平均化处理
- 带有触摸面板用户接口的大格式数字/图表显示屏
- 随机内存可用来进行工艺参数的存储与转存
- 约32个输入或输出（每8个一组）的扩展I/O可与可编程I/O一起使用
- 四个用户自定义前面板键和用户自定义指示灯可与可编程的逻辑I/O一起使用
规格：
- 频率分辨率： 0.3赫兹有@ 100微秒固定测量周期探头输出频率: 2-10兆赫兹
- 厚度显示 0.0009999千埃
- 速率显示 0.0999埃/秒
- 测量次数 在所有设定点10次/秒
- 输入 8绝缘光输入/5-30伏 交流直流/节点闭合
- 输出 8个C形继电器/卡,24伏 @ 1安
- 电子枪输出 +/-2.5,5,10伏 @ 10毫安
- 纪录仪输出 由用户编程确定
- 母线: DEVICE NET型或PROFIBUS型母线(选用)
- 输入功率 90-364伏交流电,47/66赫兹,1.4安
- 尺寸 3.5英寸X19英寸宽X8英寸深(8.9cmX48.3cmX20.3cm)(2U安装机架)
- 重量 6.5英镑 (2.95公斤
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