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电子枪 Electron Beam Sources |
旋转型多坩埚电子
- 旋转型锅体能被拆卸以便于坩埚的清洗和更换
- 270度电子束偏转(暗藏灯丝)
- 专利型水冷却设计可大大的延长坩埚的使用寿命和更均匀的模料蒸发
- 可靠的设计结构
- 易于使用和维修的优化设计
- 用于给初始电子束定位的永久磁铁可改善对蒸发工艺的控制
- 精密设计的枪头组件可增加灯丝的使用寿命并易于维修
- 插入式枪头组件便于灯丝更换
- 侧部或底部坩埚旋转驱动
- 247/266/277型电子枪上使用的旋转式馈入装置可用来对水和真空的密封
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改进型电子枪永久磁铁可减少电子束的扎坑现象
该新型电子枪是在传统电子枪的基础上通过改变对磁场的设计加工而成,它可以使电子束以较直的角度入射蒸镀膜料及增加熔炼膜料的使用面积并使膜料的熔炼更均匀以及形成可知的蒸发云雾,该电子枪上可配备无弧装置或自密封式盖板。
294型“垂直入射”电子枪
该新型10千瓦电子枪可携带6个40CC的坩埚或一个475CC的槽形坩埚，其永久磁铁技术改型，其无弧装置使该型号的电子枪成为离子光学镀膜工艺的最佳选择,如果在该枪上匹配自密封式盖板,那么该电子枪又可用于联合蒸镀工艺(金或其他膜料在坩埚中交替使用)
295型大容量,多坩埚电子枪
对于要求大蒸发膜料容量的应用来说(例如：多膜层或厚膜层，远的发射距离)，该型号的电子枪可满足需要，295型电子枪台携带6个100CC的坩埚或18个15CC的坩埚或10个40CC的坩埚或者一个1486CC槽形坩埚，可以和10千瓦或15千瓦的电源相匹配，同时也可选用无弧装置。
293型“无坩埚”电子枪
对于希望把坩埚作为其机械组成一部分的用户说，293型无坩埚电子枪可以满足该要求，用户可以用该万能型15千瓦电子枪来延长灯丝的使用寿命，同时该型号的电子枪也可以和无弧装置相匹配。 |
单坩埚电子枪
标准型电子枪 |
超高真空电子枪 |
坩埚 |
211型 |
272型 |
218型 |
258型 |
尺寸 |
211-05 |
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218-05 |
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1.5CC |
211-04 |
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218-04 |
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4CC |
211-07 |
272-01 |
218-07 |
258-01 |
7CC |
211-15 |
272-02 |
218-15 |
258-02 |
15CC |
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272-03 |
|
258-03 |
25CC |
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272-30 |
|
258-30 |
30CC |
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272-04 |
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258-04 |
40CC |
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272-05 |
|
258-05 |
100CC |
旋转多坩埚电子枪
| 241 |
247 |
265/266 |
270/271/277 |
294 |
295 |
坩埚数 |
坩埚尺寸 |
侧部
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底部 |
侧部 |
底部 |
侧部 |
底部 |
侧部 |
底部 |
侧部 |
底部 |
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-19 |
-20 |
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3 |
2X25CC/香蕉型 |
-01 |
-44 |
-43 |
-44 |
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4 |
4CC |
-02 |
-47 |
-29 |
-28 |
-29 |
-28 |
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4 |
7CC |
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-01 |
-02 |
-01 |
-02 |
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4 |
15CC |
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-07 |
-08 |
-07 |
-08 |
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4 |
25CC |
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-19 |
-20 |
-19 |
-20 |
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4 |
30CC(带挡边) |
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|
-45 |
-44 |
-44 |
-45 |
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4 |
40CC |
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-37 |
-36 |
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4 |
2-15CC/2-25CC |
-04 |
-63 |
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盘型 |
63CC |
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-15 |
-16 |
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槽型 |
190CC |
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-31 |
-30 |
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槽型 |
235CC |
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270-79 |
270-80 |
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槽型 |
383CC |
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-79 |
-80 |
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槽型 |
475CC |
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-91 |
-92 |
槽型 |
1486CC(10KW*) |
-03 |
-64 |
-09 |
-10 |
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6 |
4CC |
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-05 |
-06 |
-05 |
-06 |
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|
6 |
7CC |
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-11 |
-12 |
-11 |
-12 |
-11 |
-12 |
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6 |
15CC |
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|
-27 |
-18 |
-27 |
-18 |
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6 |
25CC |
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