微波等离子体多用途源
双模式微型电子束蒸发源
活性“氢原子源”
30KV 反射高能电子衍射枪
原子源
30KV RHEED (反射高能电子衍射枪)"OS-RHEED"
30kV RHEED
独立栅极控制
X, Y 偏转
磁透镜及偏转系统与真空隔离
出厂前进行了对中调整
被选电子束挡板