微波等离子体多用途源
双模式微型电子束蒸发源
活性“氢原子源”
30KV 反射高能电子衍射枪
原子源
双模式微型电子束蒸发源"OSVap"
集成E-Beam蒸发及电子加热扩散源两种功能
应用
热脱附清洗/热脱附质谱
退火
再结晶
表面重构Surface reconstruction