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Beyond
超越：领先一步的技术，领先一步的思想，不断的学习， 不断的超越。
Cooperative
协作：成功来自于协作，而不是竞争。个人能力只有通过团队才能得以体现。
Efficient
高效：以高效简化我们的工作，以高效保证我们的领先。
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开放：开放的同事关系，开放的客户关系，开放的竞争关系。
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微波等离子体多用途源"OSPrey" – Ion Source – Hybrid source

用户可随时自行设置运行方式: 离子源,原子源,等离子体源或混合粒子源.

无灯丝设计: 允许在反应气体气氛下工作如O2,Cl, N2,及 H2.

无需进行微波匹配调节:只需对等离子进行开或关

应用

离子束镀膜 离子束辅助镀膜IBAD

氮化 氧化物生长 陶瓷生长 氧清洗 氢环境清洗

 

 

 
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