|  |
|
|
|
|
|
|
分子泵
TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵
抽速自50至1100 l/s,极限真空度为<10 -10 mbar。该产品可任意角度安装;并对H2压缩比大。其陶瓷轴承为脂润滑,无维护运行时间长。
|
|
|
TW 系列符合分子泵
抽速为70-1600 l/s,极限真空度为10 -9 mbar,最大允许前级压强为6~14mbar,前级耐压高达14mbar,并能抵抗短暂的大气冲击。模块化的设计为用户提供了多种选择;轴承为油脂润滑,无维护运行时间长。
|
|
|
MAG系列磁悬浮分子泵
MAG系列磁悬浮分子泵是新一代数字化控制、五轴定位分子泵,其抽速为1500 l/s ~ 3200
l/s 。该产品的五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好,全无油,耐粉尘,炕气流冲击;转子及定片均采用莱宝专利技术KEPLA途层;保护轴承为陶瓷轴承,寿命长(>600次),无须更换保护轴承;运行温度可调节,以适应不同工艺制程;可提供多达180条的运行信息数据记录存储;免维护。
|
|
|
PT70 系列分子泵机组
PT70 系列分子泵全无油,有效抽速大,低极限压强,无碳氢化合物(<10 -8 mbar),结构紧凑,体积小,操作简单,稳定性好,风冷,适用于所有要求无碳氢化合物的高真空或超高真空领域。
|
|
|
|
|