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水蒸气低温冷阱
Water Vapor Cryotraps |
本产品降温迅速，快速结霜，对水蒸气有强大的抽除能力；能使设备抽气时间缩短25％～90％，提高设备极限真空；用于镀膜可大幅度提高膜层质量；占地面积小；无需液氮，降低运行费用。
通过快速泵抽来实现高效扑捉真空室中的水
蒸气是最大提高薄膜蒸镀效率的关键要求,
TELEMARK公司生产的系列冷凝泵扑捉技术
领域具有领先优势。
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可在短时间内实现“快速冷凝”。
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具有较高的水蒸气泵抽效率。
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可实现快速除霜。
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操作简单。
应用的数字控制技术实现数字通讯连接水蒸气冷凝扑捉：
- 可降低泵抽时间22%-90%。
- 可获得较高的真空。
- 改善蒸镀质量。
- 不需要使用价格昂贵的液氮
- 单/双管路组件设计。
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TVP3500/TVP2000型冷凝泵
为了巩固我们在真空镀膜领域的领导地位，TELEMARK公司又开发出了新冷凝泵，通过技术的的改进使本公司生产的冷凝泵性能更稳定。
本公司生产的TVP型冷凝泵可以和你的真空镀膜系统实现兼容安装，需要注意的是在用户和冷凝泵之间要有接口以便使冷凝泵与你的真空系统进行连接。
本冷凝泵上先进的数字控制系统可以使所有的冷凝过程得到监控，其支撑系统可很容易地使本冷凝泵与你的工艺控制有机的结合起来。
我们已经获得了欧洲理事会允许使用的“CE”标识，该TVP型冷凝泵使用了不同类型的冷媒以满足所有国家/地区的环境要求，较强的电气效率可大大的降低使全球变暖冷媒组分的排放量。
规格 |
TVP2000 |
TVP3500 |
最在荷载（瓦） |
2,000 |
3,500 |
泵速（升/秒） |
90,000 |
220,000 |
真空度 |
2X10-8（托）mbar |
2X10-8（托）mbar |
重量 |
836磅（380公斤） |
1078磅（490公斤） |
电源 |
380/440伏交流电，三相，50/60赫
或200/230伏交流电，三相，50/60赫 |
380/440伏交流电，三相，50/60赫
或200/230伏交流电，三相，50/60赫 |
最大电流
@200/230伏 |
制冷34安
运行-30安
待机-30安 |
制冷64安
运行-58安
待机-30安 |
最大电流
@380/440伏 |
制冷17安
运行-15安
待机-15安 |
制冷37安
运行-29安
待机-15安 |
冷却水要求 |
6升/分@150C
12升/分@250C
30升/分@150C |
12升/分@150C
24升/分@150C
38升/分@150C |
水管 |
3/4英寸BSP母接头管和
1/2英寸尾部软管 |
3/4英寸BSP母接头管和
1/2英寸尾部软管 |
制冷管线 |
1/2英寸ERKER型或CAJON型管路 |
1/2英寸ERKER型或CAJON型管路 |
TVP型冷泵的选用
要根据两个要素完成对TELEMARK公司生产的TVP型冷凝泵的正确选用第一个要素是需要扑捉的水蒸气量；第二个要素是系统需要处理的热荷载。
TVP2000型冷凝泵的热荷载约为2000瓦，能在不同的真空深度扑捉到约90000升/秒的水蒸气；
TVP3500型冷凝泵的热荷载为3500瓦，其对水蒸气的扑捉量约为220000升/秒。
当决定以理想的水蒸气扑捉能力来改善泵抽时间时，首要目标就是要获得至少是你真空泵现有水蒸气扑捉能力的四倍。
总的热荷载来自于35瓦/英尺2的冷凝表面和8瓦/英尺管路的制冷管线，“潜在”的热荷载是在广大的低真空深度，但在10-4或更低时可忽略不计，真空室内的热量为：
温度 黑体荷载（瓦/平方英尺） 屏蔽荷载（瓦/平方英尺）
50 55 42
100 100 75
150 167 125
200 262 197
冷凝泵上所有的热荷载都来自上述部份
冷凝盘管
用户要根据真空室图纸或规格来设计并加工冷凝盘管以便与真空室实现最佳匹配以获得理想的蒸气扑捉性能和除热性能.冷凝盘管由铜管(不绣钢管)制成,要带一个不锈钢馈入装置。采取不同的盘管形状和配置是为了获得最佳的冷凝表面扑捉效率。
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双制冷管道冷凝泵
TVP2000和TVP3500型冷凝泵可使有双制冷管管道,该系统可提供独立的控制和两个表面的制冷,通常的配置是两个冷凝管和一个冷凝盘管与一个冷凝隔板.每一个管路都可单独进行制冷和除霜,且在制冷和除霜过程中对另一条管路只有轻微的影响.冷凝隔板上发装有门阀进行保护,当真空室内的冷凝盘管正在按照预定工作时间循环达到冷凝温度时,通常可以对隔板进维修,每条管路被单独控制和监测
双制冷管路冷凝泵的型号是:
TVP2000D TVP3500D |
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数字控制
先进的数字控制装置可用24伏电池操作，并有备用电池，完全符合欧洲理事会要求，两个20字符1/2英寸高的背光只读显示屏可便于你只读屏显参数并可快速翻动所有的监测数据。
RS-232或RS-485接口可方便的用来进行适配系统控制和外部数据纪录,该先进的数字控制装置被安装有冷凝泵机体内以减少整个冷凝泵系统的体积,该控制器还可使冷凝泵系统支掉不必要且昴贵的系统控制选项及专用接口模块,37针远距接头可用于进行远距模拟系统控制. |
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TVP2000 和 TVP3500的几何尺寸
A = 23.6" - 603mm
B = 36.8" - 935mm
C = 68.9" - 1745mm
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馈入装置
(既可单独使用也可作为冷凝盘管的一部分使用)
双信道馈入装置可为通向真空室的进/回管道提供隔热保护,在外侧,可以直接和制冷管线相连,在真空室的内部,该馈入装置可以实现与冷凝表面上的管路相连.
也可使用单信道馈入装置
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制冷管线
该制冷管线有一个进管和一个回管组成,进管和回管是属于铜质管道,其表面由不锈钢包裹,可以和馈入装置匹配,该制冷管在线还覆有泡沫型保温材料,其目和是最小限度的减少热损耗并防止制冷管路暴露于空气中
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