OM820光学原位实时膜厚控制仪 In-Situ Spectroscopic Optical Monitor

在蒸镀其间对反射或透射进行全光谱,实时分析和控制 特性 全光谱终点分析 多终点技术 真空室特征真时监控 光学常数（N和K值） 全光谱分析：该光控制器可在200-900NM的波长范围内完成对监控比较片反射率和透射率的分析。 多终点技术：820型光控器通过使用前石英波和后石英波或范本比较来设置每一膜层的蒸镀结束点，先进的麦克劳得薄膜设计与应用软件与820晶控器所用软件相结合来完成模板比较。 蒸镀室真实特征监控：由于820光控器能够监测蒸镀工艺期间的全光谱，所以该系统就能够区分在各种膜料组成变化和真空室参数变化而产生的光谱偏移，光谱数据可用来计算蒸镀膜层的N&K值。 820型光控器也能够记录下与工艺工步有关的膜系光学常数的特征，如因温度/气体流量变化引起的光谱偏移。 脱机监测（选用）：监测控制滤波片，棱镜和光束分光镜质量用的反射率，投射率和颜色。 离子诊断/结束点：该820型光控器也具有控制分析离子过程的能力。

图4所示的是范本比较技术。左边屏显显示的是采集到光谱值（黑线）和用于进行比较的模板（蓝线），右侧屏显显示的是资料与时间相对应的“均方根”运算，当这两个光谱显示（右侧）相匹配时，系统就要终止膜层的蒸镀，必须要使用一个模拟软件包（如基本的麦克劳德软件）来建立该模板才能进行比较
　

Multi-Layer User Interface

SPECIFICATIONS

• Spectrometer Type:               Ebert

• Detector:                               512element Silicon Photodiode array

• Photosensitive area:               50 micron pixel pitchX2.5mm pixel height

• Quantum efficiency--------------------- 75%@600nm

• Sensitivity:                     2200 photons @ 600nm

• Response:                      4.5X10^-4 coulombs/joule/cm2

• Dark Current:                   2 pico-amps

• Saturation Charge                22 pico-coulombs

• Precision/Stability------------------------Less then or equal to 0.2% of full scale/hour

• Color Calculations:               CLE*a*b,CLE I *u*v, XYZ

• Minimum Signal Acquisition time:  50 msec

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• Fiber Optics

• Light source viewport-------------------2.75”CFF is standard specials available on request

• Light source and detector cables:   Fused silica with SMA (1/4-36)connectors and 3mm ferule

• Maximum Cable Temperature:     108 Deg C

• Maximum working Distance:      6meters

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• Chassis physical data

• Size(Width X Height Xdepth)---------19”X8.75”X10”(483mmX223mmX254

• Weight:                        40 pounds(18.25kg)

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• Computer Specification

• Processor----------------------------------pentium ll 266MHz

• Memory:                       128RAM

• Hard Drive:                     20 GB IDE

• Operating System:               Window 98, Windows 2000

• Communications Ports            2 Serial Ports,1 parallel port, 2 TTL inputs, 2 TTL outputs

• Display:                        15” Flat Panel , active-matrix LCD