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SE400椭偏仪
| 透明薄膜厚度范围: |
0 nm ... 6000 nm |
| 吸旋光性薄膜厚度范围: |
多晶硅 0 nm ... 2000 nm |
| 厚度精度: |
+ 0.1 nm for 100 nm SiO2 on Silicon |
| 长期稳定性(月) |
+ 0.1 度（△） |
| 折射率精度 |
+ 5 * 10-4 - for 100 nm SiO2 on Silicon |
| 波长: |
632,8 nm |
| 入射角: |
40°, 45°, 50°, 55°, 60° ... 90° (5°的步进） |
| 样品校准: |
"ESA" 轻松的样品校准
选项: 用于样品的顷斜和高度校准的自动校准镜 |
| 样品台: |
带有真空吸盘的15cm的载物台 |
| 计算机: |
Pentium PC, 16 MB RAM, 1GB HD, 14" 显示器, 3 1/2"
软驱, 鼠标, 键盘, WINDOWS 3.11 or WINDOWS 9X |
| 软件: |
SENTECH公司的 SE 400 椭偏仪软件 |
| 按钮所完成的功能: |
· ψ-△-测量
· 大块材料的 n, k
· 单层膜厚度
· 单层膜厚度和折射率
· 双层膜顶层的厚度和折射率
· 双层膜厚度
· 等等. |
| 单膜的多角度测量和厚度分析 |
· 厚度和折射率
· 单膜的厚度、折射率和消光系数 |
| 数据库: |
632,8 nm的折射率 |
| 选项: |
选项: SE 400-1 用于小样品测量的micro spot
SE 400-15 测绘台
SE 400-11/12 多波长椭偏仪
SE 400-AF 自动聚焦
SE 400-ACT 自动校准镜
SE 403 模拟软件 |
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