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 Prisma 四极质谱气体及残余气体分析器
优点 :
- 质量数范围 100,200,300
- 烘烤温度 300 度 ( 高真空应用 )
- 可采用 90 度连接器 , 节省空间
- 结构化软件 , 省时 , 降低可能的错误
- 带有谱库 , 帮助识别气体
- 双灯丝 , 长时间工作 , 减少日常维护
- 两个模拟输入 , 四个模拟输出
应用实例 :
- 检漏
- 线性加速器 : 高压环境 , 光纤电缆确额保了质谱和控制室通讯的
屏避
- 地理 : 芯样的气体分析
- 军用材料测试 : 分析一定压力温度材料的出气
- 光学镀膜实验室 : 确定镜片和系统是否清洁
- 芯片传输 : 检测芯片进入工仪室前表面的吸附和污染
- 高真空系统 : 热脱附
- 研发 : 高能物理和气体分析
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Prisma80 |
QMS200F1 |
QMS200M1 |
QMS200F2 |
QMS200M2 |
QMS300F3 |
QMS300M3 |
质量数 |
1-80 |
1-100 |
1-100 |
1-200 |
1-200 |
1-300 |
1-300 |
探测器 |
法拉第筒 |
法拉第筒 |
通道倍增器 / 法拉第筒 |
法拉第筒 |
通道倍增器 / 法拉第筒 |
法拉第筒 |
通道倍增器 / 法拉第筒 |
检测极限 ( 毫巴 ) |
1x 10 -12 |
1x 10 -12 |
10 -14 /5x 10 -12 |
2x10 -12 |
10 -14/10 -11 |
4 x 10 -12 |
2x10 -14 /2x 10 -11 |
对氩气的灵敏度 (A/mbar) |
1x 10 -3 |
1x 10 -3 |
200 /5x 10 -4 |
6x 10 -4 |
200 /3x 10 -4 |
3 x 10 -4 |
100 /1.5x 10 -4 |
最大操作真空度 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
1x 10 -4 |
邻峰扰动 |
<10 |
<10 |
<10 |
<20 |
<20 |
<50 |
<50 |
Mass 40 / 41(ppm) |
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重量 ( kg) |
3 |
3 |
4.4 |
3 |
4.4 |
3 |
4.4 |
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