 集成中频电源涡轮分子泵 1955年普发真空的贝克先生发明了世界上第一台水平式涡轮分子泵. 普发真空的立式分子泵承继了普发水平式涡轮分子泵的优点. 高真空端的永久磁铁保护轴承提供给转子五维支撑,确保了分子泵振动小,平衡运转,耐大气冲击,无故障周期长,特别适合于工业应用, 以及要求清洁的高真空和超高真空的仪器设备上使用，如高能加速器，核聚变反应装置，宇航模型，真空镀膜，真空冶炼，半导体提纯，大型电子管排气等。 |
磁悬浮轴承分子泵
高性能磁悬浮轴承分子拖动泵系列 (200 升 / 秒 ,400 升 / 秒 ,1000 升 / 秒 ,1600 升 / 秒 ,2400 升 / 秒 ), 提供了最佳运行可靠性 , 低运行成本及最佳灵活性 , 全方面满足了半导体业及其它高真空应用的苛刻要求 .
磁悬浮拖动分子泵集合了二种原理的三个优点 :
涡轮原理－大抽速
拖动原理－高压缩比
级段优化－高气体输运
基于上述原理设计的涡轮拖动分子泵实现了低的极限压强 , 高的工艺过程前级压强匹配 , 因此具有 : 小前级泵 , 低的一次投资成本 , 占地面积小 , 运行成本低等优点 .
分子泵 CompactTurbo |
产品型号 |
TMU071P |
TMH262 |
TMU521P |
TMU1001P |
TMH1601P |
TPH2101P |
TPH2201P |
转速 rpm |
90000 |
60000 |
50000 |
39600 |
36000 |
31500 |
36000 |
进气口法兰 |
DN63CF-F |
DN100ISO-K |
DN160 CF-F |
DN200 CF-F |
DN250ISO-K |
DN250ISO-K |
DN250ISO-K |
出气口法兰 |
DN16ISO-KF |
DN25ISO-KF |
DN25ISO-KF |
DN40ISO-KF |
DN40ISO-KF |
DN40ISO-KF |
DN63ISO-KF |
抽速 N2 |
60 |
210 |
500 |
920 |
1350 |
1900 |
2100 |
抽速 He |
55 |
220 |
500 |
900 |
1150 |
1900 |
2500 |
抽速 H2 |
45 |
190 |
480 |
690 |
870 |
1850 |
2000 |
压缩比 N2 |
>1X10E11 |
1X10E9 |
>1X10E12 |
>1X10E10 |
>1X10E10 |
>1X10E8 |
>4X10E7 |
压缩比 He |
1X10E7 |
3X10E5 |
5X10E7 |
3X10E6 |
3X10E6 |
2X10E5 |
2X10E4 |
压缩比 H2 |
1X10E5 |
1.3X10E4 |
5X10E6 |
5X10E4 |
4X10E4 |
3X10E4 |
8X10E2 |
极限压强 mbar |
<5X10E-10 |
<5X10E-10 |
<5X10E-10 |
<5X10E-10 |
<5X10E-10 |
<5X10E-10 |
<1X10E-10 |
启动时间 min |
2.5 |
3.5 |
5 |
5 |
8 |
8 |
16 |
泵体重量 kg |
4 |
5 |
14.5 |
36 |
51 |
38 |
75 |
泵体尺寸 mm |
Φ 105x256 |
Φ 138x195 |
Φ 245x224 |
Φ 285x347 |
Φ 335x391 |
Φ 311x374 |
Φ 450x448 |
控制器 |
DCU100 |
DCU150 |
DCU300 |
DCU600 |
DCU600 |
DCU600 |
DCU600 |
电源 |
TC100 |
TC100 |
TC600 |
TC600 |
TC750 |
TC750 |
TC600 |
常用前级机械泵 |
DUO2.5 |
DUO2.5 |
DUO5/10 |
DUO10 |
DUO10/35 |
DUO65/120 |
DUO65/120 |
常用前级干泵 |
MVP015-2 |
MVP035-2 |
MVP055-3 |
UNIDRY |
UNIDRY |
UNIDRY |
UNIDRY |
泵订货号 |
PMP02981 |
PMP02990 |
PMP02855 |
PMP03305 |
PMP03130 |
PMP03020 |
PMP03250 |
控制器订货号 |
PMC01694 |
PMC01698 |
PMC01696 |
PMC01697 |
PMC01697 |
PMC01697 |
PMC01697 |
加热带 |
PM041902-T |
PM041903-T |
PM051096-T |
PM041909-T |
PM041912-T |
PM051663-T |
PM051663-T |
|
