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首页>>合作伙伴>>英国牛津科学公司>>活性“氢原子源”"OSCrack" Hydrogen Source
厂商列表：

活性“氢原子源”"OSCrack" Hydrogen Source

电子束加热钨管氢原子发生器，活性氢原子转化效率>95% 。

应用范围

非损伤在线清洁如：GaAs, InP, Ge 及 Si.

还原方法去除O或C

低温清洗

2-D 图形生成的表面活性剂

后表面生长的处理及改善

化学钝化及表面重构

非晶硅退火处理
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