这种技术简单而且可靠。700系列所配置的精密探头的感测频率发生的变化，立即会在监测仪上显示出膜层厚度和沉积/刻蚀率，并且达到前所未有的精度。探头置于镀池中，它的压电石英晶片会对其表面的沉积物作出即时的反应。监测仪则根据感测到的频率变化按选择的单元进行显示，数据更新达每分钟30-600次。它是当今最为先进，功能最为全面的液态镀膜监测仪。它易于操作、灵敏、快速、精确、智能而且经济。

无电镀膜 在把工件放入镀池之前，之中，之后，700系列可以使你即时确定成膜速率。高灵敏度的监测仪可以及时的根据镀池的温度和化学反应进行反映和监测。	刻蚀 PM-700还可以测量刻蚀率，就像测成膜率一样简单。 用经过预镀的晶片可以连续的监测刻蚀工艺过程中的膜厚减少。
电镀 由于有内置的电源，PM-700监测仪可以实时测量镀膜效率。通过晶片表面和支架的连接，此系统可以在电流密度不易控制的情况下输出成膜率和膜厚的信息。	其他应用 此系统对任何有膜层厚度或质量微量变化的工艺过程都非常有效。工艺过程可以是液态的或气体的。可以具有腐蚀性、吸收性、气体敏感性以及聚合物的生成或衰减。

 

 

 

 

 

Maxtek电镀膜厚监测仪

Maxtek提供四种型号的PM系列的电镀膜厚监测仪。它们的主要区别是可支持探头的数目、最大镀膜电流和测量分辨率。每一种都可以显示成膜速率、膜厚或不同位置单位面积的质量、镀膜电流密度和石英振荡频率。都有对成膜速率和膜厚的数模转换接口和RS-232计算机界面用以进行数据资料记录。支持双探头的型号可在一个晶片失效时进行晶片自动切换，或进行平均测量。

主要技术参数比较

主要性能特点

▲ PM-700具有以下性能特点（这也是所有700系列产品所共有的）：

▲ PM-710除了具有以上共同的性能特点之外，更突出的特点是，它具有：

·高的测量速度和分辨率

▲ PM-720除了具有700共同的性能特点之外，它还具有：

·探头自动切换 ·交替测量模式

·双探头监测模式

▲ PM-740结合了700系列所有的性能特点，同时具有双探头模式和高的测量速度和分辨率，是700系列中性能最为优异的型号。

MAXTEK电镀探头

Maxtek电镀探头结构紧凑，保证在恶劣的液态环境下方便使用。探头设计使用Maxtek独有的1英寸电镀晶片。每一个探头都有一内置式振荡电路使晶片的工作效率达到最佳。所有的探头的接头采用三线同轴型式，方便与PM-700系列监测仪的连接。