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空间滤波器
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主要应用在激光的研究领域。
部件组成:钛泵、真空管道、可调节光栏和透镜等部件
工作真空度: 1×10-3Pa
真空维持时间: 3 个月以上。
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真空充排气系统 |
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用于需要精密真空封装器件的真空排气和充气。
纯无油环境
极限真空度: 3×10-4pa |
等离子诊断设备 |
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该设备主要用于低温等离子体研究和镀膜刻蚀及等离子体表面感性研究。真空室为全不锈钢结构,分子泵为系统主抽泵,干式机械泵提供系前级,系统极限真空度:5×10-5pa |
表面特性研究系统 |
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研究阴极表面发射特性 |
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四极质谱仪
详细资料
适用于大气取样的气体分析、液体(另配汽化室)组分分析等

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