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Beyond
超越：领先一步的技术，领先一步的思想，不断的学习， 不断的超越。
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协作：成功来自于协作，而不是竞争。个人能力只有通过团队才能得以体现。
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首页>>公司产品>>阴极工艺设备
包括阴极除气设备、阴极分析设备和阴极储存设备等高效真空系统 全程控工艺过程

阴极预处理台

用于阴极预处理

极限真空度3 * 10-5Pa

全程控工艺过程

多工位可多达14个
高频除气台

用于阴极除气

石英钟罩式除气工位口，利于观察测温，方便装卸工件

极限真空度3*10-4Pa

全程控工艺过程

2~3个工位
阴极发射特性研究系统

用于研究阴极表面发射特性

极限真空度：5*10-8Pa

可移动阴极，精确的传动和定位系统

专用工艺软件，可三维测量发射特性


 
 
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