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超高真空排气台 |
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 用于电真空器件的排气工艺过程
极限真空度3×10-7Pa～5×10-9Pa
烘箱最高温度:600℃. 程序温控精度＜±1℃
有单工位、双工位、多工位等多种型号
有不同尺寸的多种型号 |
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类型 参数
配置
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CP1 |
CP2 |
CP3 |
CP4 |
CP5 |
CP6 |
CP7 |
CP8 |
CP9 |
工位数量
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2 |
5~14 |
1 |
2 |
1 |
1~4 |
2 |
3 |
2 |
机组
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机械泵
分子泵
离子泵
（低温泵）
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干泵
分子泵
离子泵
（低温泵）
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机械泵
分子泵
离子泵
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机械泵
分子泵
离子泵
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机械泵
分子泵
离子泵
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离子泵
吸附泵
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机械泵
分子泵
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机械泵
分子泵
离子泵
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机械泵
分子泵
离子泵
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极限真空
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5×10-8Pa |
5×10-8Pa |
2×10-7Pa |
2×10-7Pa |
4×10-7Pa |
8×10-7Pa |
5×10-6Pa |
5×10-7Pa |
8×10-8Pa |
有效加热区 |
φ600*1200 |
φ500*1000 |
φ600*1200 |
φ500*600 |
φ800*2000 |
φ500*600 |
φ500*1200 |
φ800*400 |
φ1100*3000 |
烘箱温度
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600℃ |
600℃ |
550℃ |
550℃ |
550℃ |
500℃ |
550℃ |
450℃ |
600℃ |
烘箱真空度 |
2Pa |
2Pa |
2Pa |
2Pa |
2Pa |
常压 |
2Pa |
常压 |
5*10-3Pa |
升降类型 |
双柱机械升降 |
双柱机械升降 |
单柱液压升降 |
单柱液压升降 |
单臂侧开门 |
单柱液压升降 |
双柱机械升降 |
双柱龙门式机械升降 |
吊装 |
升降高度
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1200 |
1000 |
600 |
600 |
无 |
600 |
1200 |
500 |
3000 |
控制类型
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手动+自动 |
手动+自动 |
手动+自动 |
手动 |
手动+自动 |
手动+自动 |
手动 |
手动 |
手动+自动 |
最大功率
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30kw |
30kw |
15kw |
15kw |
55kw |
12kw |
20kw |
12kw |
80kw |
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