原子源"RF-OSPrey" Atom Source

13.56 MHz射频感应等离子体方式

独特的同轴式结构:易于在任何真空系统上安装

无灯丝设计: 允许在反应气体气氛下工作如O2,Cl, N2,及 H2.

整体式水冷却结构: 极小的对系统热负荷

典型应用:

N₂环境等离子体

氮化处理: GaN, AlN, InN, SiN

掺杂: ZnSe

合金化: GaAlAsN

清洗

生长加强/活性在线刻蚀

O₂环境等离子体

氧化生长: HTc 超导体, 光学薄膜, 介质膜, 陶瓷膜等的生长, Al2O3

反应离子溅射, 激光脱附

氧等离子体清洗及氧化动力学研究

后生长低温氧化: SiO2

H₂环境等离子体

氢等离子清洗

甲烷环境等离子体

SiC生长