微波等离子体多用途源"OSPrey" – Ion Source – Hybrid source

用户可随时自行设置运行方式: 离子源,原子源,等离子体源或混合粒子源.

无灯丝设计: 允许在反应气体气氛下工作如O2,Cl, N2,及 H2.

无需进行微波匹配调节:只需对等离子进行开或关

应用

离子束镀膜 离子束辅助镀膜IBAD

氮化 氧化物生长 陶瓷生长 氧清洗 氢环境清洗